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研磨液檢測儀跟上時(shí)代的步伐

  更新時(shí)間:2018-04-26 點(diǎn)擊量:2851
   研磨液檢測儀跟上時(shí)代的步伐
   研磨液檢測儀根據(jù)歐盟和國標(biāo)頒布鎳釋放標(biāo)準(zhǔn)制造,應(yīng)用范圍廣泛,配合六角型滾筒金屬樣品掛架磨料和磨漿,方便實(shí)驗(yàn)室人員使用,可通過電腦控制,提供穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速;可順時(shí)針或者逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)。
   研磨液檢測儀數(shù)碼計(jì)算機(jī)控制,軟墊頭接觸式按鈕提供標(biāo)準(zhǔn)的時(shí)間及程序調(diào)教,全自動(dòng)設(shè)計(jì),能于特定時(shí)間轉(zhuǎn)向,預(yù)設(shè)順逆各轉(zhuǎn)2.5小時(shí),測試完成后鎳釋放儀器自動(dòng)停止。目前,研磨液檢測儀技術(shù)已經(jīng)發(fā)展成以化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)為主體,集在線檢測、終點(diǎn)檢測、清洗等技術(shù)于一體的CMP技術(shù),是集成電路向微細(xì)化、多層化、薄型化、平坦化工藝發(fā)展的產(chǎn)物,同時(shí)也是晶圓由200mm向300mm乃至更大直徑過渡、提高生產(chǎn)率、降低制造成本、襯底全局平坦化所必需的工藝技術(shù)。
   研磨液檢測儀具有動(dòng)態(tài)粒徑范圍廣,檢測時(shí)間短及重現(xiàn)性高等特點(diǎn),所以常用來檢測的粒徑分布特征,激光衍射儀的工作原理是基于不同性質(zhì)的兩個(gè)物理量,理論上講,對(duì)于特定粒徑的粒子,激光衍射會(huì)產(chǎn)生一個(gè)明暗相間的衍射環(huán)。研磨液檢測儀衍射環(huán)的位置及相鄰光環(huán)間的距離與粒子的粒徑成反比。但是對(duì)于粒徑小于2μm的粒子,衍射環(huán)就檢測不到,此時(shí)必須以另一種的方法,該方法描述了一個(gè)特定粒子由于各點(diǎn)散射光波的相互干涉導(dǎo)致的大角散射的改變,而這種散射角度的變化不僅取決于粒子粒徑與激光波長,還與粒子的吸光性質(zhì)與折射率有關(guān)。
   研磨液檢測儀為用戶提供可方便、快捷、、可靠的粒徑分析,是一臺(tái)掃頻接收機(jī),輸入信號(hào)與本地振蕩信號(hào)在混頻器變頻后,經(jīng)過一組并聯(lián)的不同中心頻率的帶通濾波器,使輸入信號(hào)顯示在一組帶通濾波器限定的頻率軸上。顯然,由于帶通濾波器由無源元件構(gòu)成,頻譜分析器整體上顯得很笨重,而且頻率分辨率不高。
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